Přestaňte plýtvat teplem ve vaší sušicí lince
Pokud jste někdy prováděli energetickou auditizaci sušicí linky na výrobu waferů, víte přesně, kde je problém. Jde o ten prostor mezi lampou a substrátem.
Většina běžných reflektorů pouze rozptyluje infračervené záření všude kolem. Místo toho, aby teplo dopadlo na wafer, velká část této energie se odrazí od stěn komory. Je to naprostá ztráta. Proto používáme reflektory pokryté zlatem.
Proč zlato?
Jde o to, jak zlato zachází s infračerveným světlem. Zlato dokáže lépe odrážet dlouhovlnné a střednovlnné záření než hliník nebo nerezová ocel.
Hliník sice není špatný, ale nemá rád vysoké teploty v prostředí výroby. Degraduje se. Zlato naopak neoxiduje – zůstává konzistentní. To znamená, že více wattů dopadne na wafer, a ne na stěny.
Kromě toho necháváme teplo plynout volně. Reflektory upravujeme tak, aby energie byla soustředěna do úzkého paprsku. Tím dosáhneme vyšší hustoty tepla na povrchu, aniž bychom museli zvyšovat výkon lamp.
Nevýhody
Je tu však jeden problém – zlato není levné. Vaše počáteční náklady budou tedy vyšší. Ale měli byste to brát jako způsob, jak v průběhu času snížit provozní náklady.
Je tu ještě jedna věc: zlato je náročné. Pokud se ve vašem provozu vyskytují organické plyny nebo chemické páry, na povrchu se usadí tenká vrstva nečistot, což sníží reflexivitu reflektorů. Musíte je udržovat čisté, jinak prostě plýtváte penězi.
Jak to zařídit ve vašem provozu
Dobrá zpráva je, že tyto reflektory obvykle nahrazují standardní reflektory bez potřeby celé rekonstrukce. Stačí pouze zarovnat ohnisko právě na rovinu waferu. Tím zajistíte rovnoměrné zahřívání celé plochy 300 mm, takže nevzniknou žádné „horké body“, které by deformovaly substráty.
Při výběru sušicího systému neberte v úvahu jen to, že potřebujete více tepla. To pouze zatíží váš systém HVAC. Zaměřte se spíše na efektivitu reflektorů. Dejte teplo tam, kam opravdu patří – na wafer.