
ফ্যাব ফ্লোরে, মাত্র কয়েক ডিগ্রির পরিবর্তনও ফোটোরেসিস্টের বৈশিষ্ট্যগুলোকে বিঘ্নিত করে। এর ফলে উৎপাদন প্রক্রিয়া থেমে যায়; কণার সংখ্যা বৃদ্ধি পায়, আর ত্রুটি যাচাই করার আগেই উৎপাদন ক্ষমতা হ্রাস পায়। আমরা ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করে এই ধরনের পরিবর্তনগুলো দূর করেছি; যাতে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াটি ধারাবাহিকভাবে সঠিকভাবে চলতে পারে।
এর কোরটি হলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার; এটা সাধারণ ফোটোরেসিস্ট রসায়নগুলোর শোষণ ক্ষমতার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। কোয়ার্টজ-ভিত্তিক ডিজাইনের কারণে উওয়েলগুলোতে ±0.1°C এর মধ্যে তাপীয় সমানতা বজায় থাকে; এছাড়া তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণও খুবই নির্ভুল হয়। হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড হট প্লেটগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর সাথেও এটা সামঞ্জস্যপূর্ণ। এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন করে না। ফলে হাজার হাজার চক্র ধরেও ফোটোরেসিস্টের বৈশিষ্ট্যগুলো স্থিতিশীল থাকে; আর তাপীয় পরিবর্তনের কারণে কোনো সমস্যা হয় না।
এর ফলে প্রক্রিয়াটি আরও স্থিতিশীল হয়। ফোটোরেসিস্ট নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা বৃদ্ধি পায়; ফলে অপচয় কমে যায়। হিটারটি দ্রুত নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়; ফলে শক্তি ব্যবহারও কমে যায়। এটা ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা ও জরুরি মেরামতের খরচও কমে যায়। এর ফলে উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি পায় ও উৎপাদন সময়ও নির্ভুল থাকে—এটাই ফ্যাবের লাভের চাবিকাঠি।
বেশিরভাগ প্ল্যাটফর্মেই এর ইনস্টলেশন সহজ; কিন্তু এর জ্যামিতিক গঠন খুবই সংবেদনশীল। বদলানোর আগে এমিটার, রিফ্লেক্টর ও সেন্সরের জন্য পর্যাপ্ত জায়গা আছে কিনা তা নিশ্চিত করুন; আর আপনার তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা হিটারের প্রতিক্রিয়ার গতির সাথে তাল মিলাতে পারে কিনা তা নিশ্চিত করুন। উন্নত সমানতা অর্জনের জন্য কিছুটা সময় দরকার।