في قاعة التصنيع، فإن درجة الحرارة المطلوبة لعملية الخبز تبلغ 90 درجة مئوية، وهذه ليست مجرد توصية، بل هي معيار ضروري. أي اختلاف بمقدار 2 درجة مئوية قد يؤدي إلى تغيير في خصائص الفوتوريزيست، وبالتالي يؤدي إلى فشل العملية. لذلك، صممنا مصابيح التسخين بالأشعة تحت الحمراء لتتناسب مع هذه الظروف.
العوامل التقنية المهمة تعمل المصابيح باستخدام عناصر هالوجينية تصدر أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، وتُضخ الطاقة مباشرة إلى الشريحة دون أن يحدث تسخين كبير في الهواء المحيط. والنتيجة هي استجابة سريعة وتحكم دقيق في درجة الحرارة. على شريحة بحجم 300 مم، تظل درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، ويظل مستوى التكرار ضمن نطاق 0.05 درجة مئوية على مدار 24 ساعة.
قواعد البيئة النظيفة غير قابلة للتفاوض، لذلك تم تصميم المصابيح لتعمل في بيئات من الفئة 1 إلى 100. نستخدم مواد قليلة الانبعاثات، بالإضافة إلى هيكل مصمم للسيطرة على الجسيمات، مما يضمن استقرار الأداء. يجب أن يظل مستوى الإخراج ضمن نطاق 2% على مدار 5,000 ساعة أو أكثر، كما أن جسم المصباح يحتوي على واجهات كهربائية قياسية، مما يسمح بتركيبه بسهولة في الأنظمة الموجودة.
لماذا ينجح هذا النظام؟ في عملية الطباعة الضوئية، تحدد عملية الخبز كمية المذيب المستخدم في الفوتوريزيست وزاوية الجدران الجانبية قبل عملية التعرض للضوء. تعمل مصابيح الأشعة تحت الحمراء على تسخين الشريحة بسرعة وبشكل متساوٍ، مما يقلل من وقت العملية دون أن يؤثر ذلك سلبًا على الفوتوريزيست. سواء كانت عملية الخبز ناعمة أو قوية، فإنها تتم وفق نفس المعايير الحرارية، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة العمل ويزيد من كفاءة الإنتاج.
يقل استهلاك الطاقة لأن الحرارة تذهب إلى المكان المطلوب، أي مباشرة إلى الفوتوريزيست، بدلاً من أن تؤثر على جدران الغرفة. كما أن الاستقرار يعني عدم وجود توقفات غير مخطط لها، مثل استبدال المصابيح أثناء العملية.
الأمور التي يجب معرفتها يتعلق التركيب بمطابقة هندسة العاكس والمسافة البؤرية مع مسار الشريحة. إذا لم يتم تحقيق هذا التوافق، فسينخفض مستوى التوحيد. المصابيح ساخنة جدًا، لذا يجب فحص الواقيات والأجزاء المرتبطة بها قبل استخدامها.
نحن ندعم التكامل مع أجهزة التحكم الشائعة، لكن لا يزال من الضروري وجود خريطة خاصة بالموقع لتحديد الحمل الحراري. إذا تم إجراء التقييم الأولي بشكل صحيح، فإن المصابيح ستظل تعمل بشكل جيد في كل دفعة من الشرائح.